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针对光学超精密仪器隔振系统的不确定性,采用被动隔振和主动隔振相结合的混合控制技术,其中主动隔振采用鲁棒H∞控制策略,该方法克服了由模型和干扰所引起的不确定性,使得控制系统能够有效地抑制模型的非线性和振动的干扰.仿真结果表明,光学超精密仪器在振动的干扰下具有较好的鲁棒稳定性和控制精度.
光学超精密仪器隔振系统的鲁棒H∞控制系统仿真分析
【摘 要】
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针对光学超精密仪器隔振系统的不确定性,采用被动隔振和主动隔振相结合的混合控制技术,其中主动隔振采用鲁棒H∞控制策略,该方法克服了由模型和干扰所引起的不确定性,使得控
【机 构】
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南京理工大学电光学院,南京信息工程大学系统科学与工程研究所
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2006年z1期
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