论文部分内容阅读
通过建立传感器的力学模型，对硅微电容式加速度传感器的特性作了详细的分析与讨论，为系统结构的优化设计提供了理论基础。
硅微电容式加速度传感器结构设计
【摘 要】
：
通过建立传感器的力学模型，对硅微电容式加速度传感器的特性作了详细的分析与讨论，为系统结构的优化设计提供了理论基础。
【机 构】
：
重庆大学光电工程学院!重庆400044
【出 处】
：
半导体光电
【发表日期】
：
1999年04期
其他文献
随着建筑行业的不断发展，钢结构以其良好的牢固性、高强度和轻自重等特点得到了广泛的应用。并且在促进我国建筑行业的发展中发挥着不可替代的作用。钢结构施工质量如何，直接影
文章对光外调制作了原理及实验上的分析，着重研究作为驱动器的大功率宽带放大器。对２．５Ｇｂ／ｓＮＲＺ伪随机码对放大器的低端截止频率和高端截止频率的要求进行了理论分析。提出并实验了几种放
结合中山市中嘉水质净化厂进水站工程实例，对该进水站沉井设计方案的选型进行了介绍，对设计方案进行了计算研究，以使该设计方案更完善，可供类似工程借鉴。