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期刊论文
微型热释电红外传感器
微型热释电红外传感器
来源 :传感器世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kuuldor
【摘 要】
:
报道一种新结构的微型热释电红外传感器,介绍其结构,工艺与性能参数。
【作 者】
:
陈光增
林吉申
【机 构】
:
福州大学电子系,福州大学电子系
【出 处】
:
传感器世界
【发表日期】
:
1998年5期
【关键词】
:
热释电
微型传感器
红外传感器
Pyroelectric
Microsensor
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报道一种新结构的微型热释电红外传感器,介绍其结构,工艺与性能参数。
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