【摘 要】
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离子镀是一种崭新的真空镀膜技术,它与真空蒸镀、真空溅镀有着本质的区别.本文介绍离子镀的机理、特点、工艺过程,各种离子镀装置,以及离子镀的应用近况和展望.
Ion plating
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离子镀是一种崭新的真空镀膜技术,它与真空蒸镀、真空溅镀有着本质的区别.本文介绍离子镀的机理、特点、工艺过程,各种离子镀装置,以及离子镀的应用近况和展望.
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