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近场微波显微镜对石墨烯的无损检测研究
近场微波显微镜对石墨烯的无损检测研究
来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nanfangjituan
【摘 要】
:
本文基于近场扫描微波显微镜的基本原理,搭建了一套高效测量石墨烯薄膜材料电磁特性的系统。近场扫描微波显微镜是利用探针靠近样品时,记录谐振腔的品质因数或谐振频率的偏移
【作 者】
:
彭坤
吴喆
杨山
柳建龙
曾葆青
【机 构】
:
电子科技大学物理电子学院
【出 处】
:
真空电子技术
【发表日期】
:
2018年1期
【关键词】
:
石墨烯
检测
近场扫描微波显微镜
Graphene
Detect
Near-field scanning microwave microscopy
【基金项目】
:
国家自然科学基金(61301053和61601101), 中央高校基本科研业务费ZYGX2016J060和ZYGX2016KYQD097
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本文基于近场扫描微波显微镜的基本原理,搭建了一套高效测量石墨烯薄膜材料电磁特性的系统。近场扫描微波显微镜是利用探针靠近样品时,记录谐振腔的品质因数或谐振频率的偏移量,然后通过软件仿真探针样品模型的方法得到样品的介电常数、电导率等物理量,以非接触的方式无损表征了石墨烯薄膜的材料特性。
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