【摘 要】
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为了满足自适应光学技术更广泛的应用需求,针对传统变形镜体积大、成本高的问题,本文研制了基于微机电系统技术的MEMS变形镜并进行了实验测试。本文研制的变形镜共有140个六
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所、微细加工光学技术国家重点实验室,桂林电子科技大学、广西自动检测技术与仪器重点实验室,中国科学院大学
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（11403029）,广西自动检测技术与仪器重点实验室基金（YQ18201）,川省高新技术及产业化面上项目（2017GZ0329）,中国科学院青年创新促进会资助（2014346）
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为了满足自适应光学技术更广泛的应用需求,针对传统变形镜体积大、成本高的问题,本文研制了基于微机电系统技术的MEMS变形镜并进行了实验测试。本文研制的变形镜共有140个六边形平行板电容静电驱动器,驱动器为12×12正方形排列,间距400μm。采用表面MEMS工艺加工了变形镜样品,并利用陶瓷PGA管壳和石英玻璃盖板对样品进行了封装,同时还研制了与之配套的小型化多通道高压驱动电源。测试结果表明,该变形镜表面PV值411 nm,RMS值78 nm,在600 nm到900 nm波段的反射率接近80%,行程
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