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与电子、信息、通信相关的硬件技术领域,为适应今后愈来愈多的需求,电子学和光子学及微机械技术的结合将成为重要的技术领域。人们把这一领域称之为机械光电子学领域,以推进从基础技术的系统应用这样的研究向着系统化方向发展。本文首先介绍微传感器、微致动器等机械光电子学器件的具体研究实例,然后阐述其定位和特征,进而就今后的机械光电子学器件、包括应用,将来向何方发展作以叙述。