【摘 要】
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德国的IOT GmbH生产一种小型激光干涉仪,一个集成光学迈克尔逊干涉仪是长90.5mm,直径12mm激光干涉仪的心脏。这种干涉仪可用于机床、半导体和其他精密测量工业。这种干涉仪
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德国的IOT GmbH生产一种小型激光干涉仪,一个集成光学迈克尔逊干涉仪是长90.5mm,直径12mm激光干涉仪的心脏。这种干涉仪可用于机床、半导体和其他精密测量工业。这种干涉仪的所有被动光学元件都
A small laser interferometer is manufactured by IOT GmbH in Germany, and an integrated optical Michelson interferometer is the heart of a 90.5 mm long, 12 mm diameter laser interferometer. This interferometer can be used in machine tools, semiconductors and other precision measurement industries. All passive optical components of this interferometer are
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