原子层沉积法制备新型功能纳米材料获系列进展

来源 :中国粉体工业 | 被引量 : 0次 | 上传用户：joinroot

【摘要】

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原子层沉积技术(atomic layer deposition)是近年来快速发展的一种先进薄膜沉积技术,具有极佳的均匀性、台阶覆盖率、保形性、重复性以及在原子尺度精确控制厚度等突出优点。

【出处】

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中国粉体工业

【发表日期】

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2013年5期

【关键词】

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纳米材料原子层沉积原子尺度保形性薄膜沉积碳纳米金纳米粒子均匀性电磁波吸收技术设计

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原子层沉积技术(atomic layer deposition)是近年来快速发展的一种先进薄膜沉积技术,具有极佳的均匀性、台阶覆盖率、保形性、重复性以及在原子尺度精确控制厚度等突出优点。利用原子层沉积技术设计合成新型功能纳米材料,开发其在能源、催化、环境等领域的应用是当前的研究热点。在中国科学院、国家自然科学基金委、科技部的大力支持下,

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