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激光诱导损伤阈值(Laser-Induced Damage Threshold,LIDT)是衡量薄膜光学元件抗激光作用能力的重要指标,其大小受脉冲激光各种输出参数、激光作用方式、薄膜材料及制备方式以及损伤识别方法等诸多因素的影响.以K9玻璃为基底,采用离子束辅助热蒸发沉积方法,分别制备了二氧化硅、二氧化铪和二氧化钛三种单层薄膜样片,实验在自主研制的多波长激光损伤阈值测试仪上进行,以1-on-l测量方式,分别用波长为1 064nm和532nm的脉冲激光对三种材料的损伤阈值进行了测试,分析了不同波长下的损伤阈值影响规律.对不同厚度的三种薄膜材料在不同脉冲激光波长作用下的损伤阈值及其变化规律进行了实验研究.测试结果表明:三种薄膜在固定膜厚或膜厚有变化时,其损伤阈值都随激光波长的减小而降低,测试结论与理论预期相吻合.不同波长对介质薄膜损伤的影响规律,对薄膜制备及其损伤识别具有指导意义.