【摘 要】
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在超精密加工领域,在工件原始表面进行加工(如机械刻划)是非常重要的加工方式,而对刀间距的检测精度直接制约着加工精度。根据激光衍射测量原理设计了一种激光衍射对刀装置的
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51405031,51575075);吉林省科技厅计划项目(20150204059GX,20170101124JC)
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在超精密加工领域,在工件原始表面进行加工(如机械刻划)是非常重要的加工方式,而对刀间距的检测精度直接制约着加工精度。根据激光衍射测量原理设计了一种激光衍射对刀装置的结构方案,并通过软硬件开发,应用到了衍射光栅的机械刻划工艺试验装置的对刀间距检测过程中,获得了对刀间距的特征衍射条纹图像。通过检测两个一级次极大衍射条纹光强峰值点的间距实现了对精密对刀间距的有效测量,验证了该装置的可行性。为后续工艺研究和工程应用研究提供了软硬件平台基础。
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