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本文介绍了一种新的用于纳米级外差干涉信号处理方法。该方法采用了相位及相位整数周期测量法，使外差干涉测量的分辨率提高到０．３ｎｍ。本文给出了采用该方法的外差干涉仪的实验结果。
一种新型的纳米级外差干涉信号处理方法
【摘 要】
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本文介绍了一种新的用于纳米级外差干涉信号处理方法。该方法采用了相位及相位整数周期测量法，使外差干涉测量的分辨率提高到０．３ｎｍ。本文给出了采用该方法的外差干涉仪的实验结果。
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1995年S1期
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