真空舱几何结构对离子推力器背溅射沉积影响的计算研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hudaxia110
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有效降低溅射沉积影响是离子推力器地面寿命试验需要解决的关键技术问题。本文建立了真空舱壁上溅射物沉积到离子推力器表面的计算模型。结合LIPS-200推力器束流特性和石墨材料内衬,应用该模型分别计算和分析了平面靶圆柱型、平面靶圆锥台型、球面靶圆柱型、凸锥靶圆柱型、凹锥靶圆柱型五种真空舱几何形状与尺寸对离子推力器背溅射沉积的影响关系规律,得到了对具体设计LIPS-200推力器寿命试验真空舱具有指导作用的重要结论。 Effectively reducing the influence of sputter deposition is the key technical problem that needs to be solved in the ground life test of ion thruster. In this paper, a model for the deposition of spatter on the surface of an ion thruster on a vacuum bulkhead has been established. Combining with the beam characteristics of LIPS-200 thruster and the lining of graphite material, this model is applied to calculate and analyze the characteristics of planar target cylinder, plane target cone platform, spherical target cylinder, convex cone target cylinder, concave cone target cylinder Five kinds of vacuum chamber geometry and size of the ion thruster sputtering deposition of the relationship between the law has been designed to design LIPS-200 thruster life test vacuum chamber has an important guiding role in the important conclusions.
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