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下一代新型半导体器件及工艺基础研究
下一代新型半导体器件及工艺基础研究
来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hongLIXUAN
【摘 要】
:
<正> 引言微电子技术无论是从其发展速度和对人类社会生产、生活的影响,都可以说是科学技术史上空前的,微电子技术已经成为整个信息产业的基础和核心。自1958年集成电路发明
【作 者】
:
张兴
【机 构】
:
北京大学微电子学研究所
【出 处】
:
中国集成电路
【发表日期】
:
2003年03期
【关键词】
:
微电子产业
器件结构
半导体器件
下一代
工艺基础
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<正> 引言微电子技术无论是从其发展速度和对人类社会生产、生活的影响,都可以说是科学技术史上空前的,微电子技术已经成为整个信息产业的基础和核心。自1958年集成电路发明以来,为了提高电子集成系统的性能,降低成本,集成电路的特征尺寸不
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