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针对EBPVD真空插板阀显示故障,结合其工作原理进行分析并对比出现的故障,深入研究真空阀相关的电磁阀系统和PLC系统,最终逐步排除故障,为研究设备提供依据,对真空设备的维修、维护有重要的参考价值。
EBPVD真空插板阀故障研究与分析
【摘 要】
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针对EBPVD真空插板阀显示故障,结合其工作原理进行分析并对比出现的故障,深入研究真空阀相关的电磁阀系统和PLC系统,最终逐步排除故障,为研究设备提供依据,对真空设备的维修
【机 构】
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西北有色金属研究院
【出 处】
：
金属加工:冷加工
【发表日期】
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2019年7期
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