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利用标量波动衍射理论，通过对光栅槽面的数值积分，计算了罗兰圆型集成二维凹面光栅像点的光强分布。分析了工艺中的折射率偏差对光谱位置的影响，计算了光栅的色散和分辨力，并与几何学学的分析方法作了比较，分析了光栅的槽面数，光源的模场宽度以及因工艺产生的槽面圆角对光栅成像的影响；最后给出了光栅效率的近似计算。