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针对抛光石英玻璃表面经氢氟酸溶液刻蚀后,出现麻点、划痕等缺陷;本文对出现的亚表面缺陷进行了分类,并研究了各种缺陷经氢氟酸溶液刻蚀后形态变化;结合石英玻璃加工过程对各类亚表缺陷的成因进行了分析。
抛光石英玻璃亚表面缺陷研究
【摘 要】
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针对抛光石英玻璃表面经氢氟酸溶液刻蚀后,出现麻点、划痕等缺陷;本文对出现的亚表面缺陷进行了分类,并研究了各种缺陷经氢氟酸溶液刻蚀后形态变化;结合石英玻璃加工过程对各
【机 构】
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中国建筑材料科学研究总院,中建材衢州金格兰石英有限公司
【出 处】
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硅酸盐通报
【发表日期】
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2017年S1期
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