论文部分内容阅读
针对硅基MEMS湿法深槽刻蚀技术的难点,在硅材料各向异性腐蚀特性的基础上探索了湿法工艺。对腐蚀液含量、温度、添加剂含量对刻蚀速率及表面粗糙度的影响,掩膜技术等进行了实验研究,优化得到了最佳刻蚀条件。应用该技术成功地刻蚀出深度高达330μm的深槽,为MEMS元器件的加工提供了一种参考方法。
MEMS中硅湿法深槽刻蚀工艺的研究
【摘 要】
：
针对硅基MEMS湿法深槽刻蚀技术的难点,在硅材料各向异性腐蚀特性的基础上探索了湿法工艺。对腐蚀液含量、温度、添加剂含量对刻蚀速率及表面粗糙度的影响,掩膜技术等进行了实
【机 构】
：
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【出 处】
：
材料导报
【发表日期】
：
2011年08期
其他文献
我们以小郭泥塑为切入点,梳理了小郭泥塑的传承历史、艺术特点,分析了它的传承现状和面临的问题。目前小郭泥塑的传承与开发的对策是产业化开发、新型商业化经营,通过“互联
王国宪-字文野,1962年生于浙江瑞安。高级美术师、高级经济师。锦州亿隆置业有限公司董事长,锦州市政协委员,锦州市文化产业协会名誉会长,瑞安画院特聘画师。
【正】 中国是世界文明发达最早的国家之一。毛泽东同志早在一九三九年所写的《中国革命和中国共产党》第一章第一节一开头就说道: “我们中国是世界上最大国家之一,……从很