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扫描声学显微镜的扫描技巧探讨
扫描声学显微镜的扫描技巧探讨
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hfg595
【摘 要】
:
探讨了在SAT(Scanning Acoustic Technology)扫描过程中对分层扫描结果有显著影响的探头频率、探头下部的气泡、样品表面的气泡、气泡的处理方法及浸泡时间等进行了讨论,结果
【作 者】
:
刘玲玲
范丹丹
纪帆
谭伟
李文祥
【机 构】
:
江苏华海诚科新材料股份有限公司
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2020年6期
【关键词】
:
分层
探头频率
气泡
Delamination
Frequency of probe
Bubbles
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探讨了在SAT(Scanning Acoustic Technology)扫描过程中对分层扫描结果有显著影响的探头频率、探头下部的气泡、样品表面的气泡、气泡的处理方法及浸泡时间等进行了讨论,结果表明,合适频率的探头、有效的气泡去除及在最佳浸泡时间内才能得到正确的分层扫描结果。
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