微程序座标旋转计算机(用于集成电路自动键合)

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本文介绍利用座标旋转计算机原理制成的“微程序数控键合机”。把座标旋转计算机用于集成电路生产中的自动键合上是首次。由于采用座标旋转计算方法、微程序设计、故障自动检查程序、顺序操作控制以及全部采用固体电路,使机器简单、准确、灵活、可靠。 This article describes the use of coordinate rotation computer principle made of “micro-program NC bond machine.” It is the first time to use a coordinate rotation computer for automatic bonding in the production of integrated circuits. The use of coordinate rotation calculation method, micro-program design, automatic fault detection procedures, sequential operation control and the use of solid-state circuits make the machine simple, accurate, flexible and reliable.
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