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铸造多晶硅铝吸杂的EBIC研究
铸造多晶硅铝吸杂的EBIC研究
来源 :太阳能学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Robert_1967
【摘 要】
:
该文利用电子束诱生电流(EBIC)对太阳电池用铸造多晶硅材料铝扩散吸杂进行了研究.通过对铸造多晶硅中晶界、位错等缺陷不同温度EBIC图像的分析,确定了复合类型,分析了铝扩散
【作 者】
:
陈君
【机 构】
:
浙江大学硅材料国家重点实验室,IHP
【出 处】
:
太阳能学报
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
铸造多晶硅
铝
EBIC
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该文利用电子束诱生电流(EBIC)对太阳电池用铸造多晶硅材料铝扩散吸杂进行了研究.通过对铸造多晶硅中晶界、位错等缺陷不同温度EBIC图像的分析,确定了复合类型,分析了铝扩散的作用.此外,还发现奇怪的位错明衬度缺陷,分析了其产生原因.
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