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用直流溅射法制备了6个不同厚度的超薄Ag膜。结合超薄Ag膜的结构特点，采用了Drude模型联合Lorentz Oscillator模型的解谱方法，得到1～6号样品的厚度分别为4．0，6．2，12．5，26．2，30．0和40．6nm。从拟合结果的消光系数k图谱中发现，在1号到4号样品中分别于430，450，560和570nm处出现了表面等离子体共振峰（SPR），随膜厚的增加共振峰宽化且峰位红移。最后，利用SPR理论计算出不同厚度Ag薄膜等离子体共振峰出现的位置，并和实验结果进行了比较。