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用直流溅射法制备了6个不同厚度的超薄Ag膜。结合超薄Ag膜的结构特点,采用了Drude模型联合Lorentz Oscillator模型的解谱方法,得到1~6号样品的厚度分别为4.0,6.2,12.5,26.2,30.0和40.6nm。从拟合结果的消光系数k图谱中发现,在1号到4号样品中分别于430,450,560和570nm处出现了表面等离子体共振峰(SPR),随膜厚的增加共振峰宽化且峰位红移。最后,利用SPR理论计算出不同厚度Ag薄膜等离子体共振峰出现的位置,并和实验结果进行了比较。