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论述了激光调阻机中用有源单臂电桥进行刻蚀电阻的原理,提出了在电阻测量时消除线电阻及其接触电阻的方法.在复频域对激光调阻机高精度可编程电压源电路进行了分析,得到消除线电阻及其接触电阻的结论,该方法对提高电阻测量精度,特别是提高低阻的测量精度有一定的参考价值.
激光调阻机高精度可编程电压源的复频域分析
【摘 要】
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论述了激光调阻机中用有源单臂电桥进行刻蚀电阻的原理,提出了在电阻测量时消除线电阻及其接触电阻的方法.在复频域对激光调阻机高精度可编程电压源电路进行了分析,得到消除
【机 构】
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吉林大学计算机系,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2004年1期
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