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本文介绍了工艺控制图形(PCM)与其它检测手段的区別,对PCM设计标准化的必要性及优点进行了阐述,并探讨了标准化PCM的设计方法。
工艺控制图形(PCM)的设计与标准化
【摘 要】
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本文介绍了工艺控制图形(PCM)与其它检测手段的区別,对PCM设计标准化的必要性及优点进行了阐述,并探讨了标准化PCM的设计方法。
【机 构】
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机械电子工业部东北微电子研究所
【出 处】
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微处理机
【发表日期】
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1992年03期
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