【摘 要】
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半导体设备工艺配方（以下简称配方），是指半导体设备工作状态下各种工艺参数的组合，其准确与否直接影响到半导体器件的质量。随着半导体设备自动化需求的不断提高，为减少人为误差，主机端需要严格把控设备端的配方内容，对设备端的配方管理提出了较高的要求。基于主机端与设备端的配方交互需求，对其交互方式进行了阐述，介绍了主机端临时修改配方参数的方法，以便在机台端配置少量配方即可实现多种产品生产，为设备端配方相关的
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半导体设备工艺配方（以下简称配方），是指半导体设备工作状态下各种工艺参数的组合，其准确与否直接影响到半导体器件的质量。随着半导体设备自动化需求的不断提高，为减少人为误差，主机端需要严格把控设备端的配方内容，对设备端的配方管理提出了较高的要求。基于主机端与设备端的配方交互需求，对其交互方式进行了阐述，介绍了主机端临时修改配方参数的方法，以便在机台端配置少量配方即可实现多种产品生产，为设备端配方相关的功能开发提供参考依据。
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