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微电子技术是衡量一个国家电子工业水平的标志之一,它的发展极大地影响着科学技术的各个领域。现在,这一技术的发展已进入超大规模集成电路研制的阶段,要求在每个芯片上集成10亿个元件,图形线条宽度在0.35μm以下。集成电路主要依靠精细加工技术,而
光刻工艺:微电子技术的关键
【摘 要】
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微电子技术是衡量一个国家电子工业水平的标志之一,它的发展极大地影响着科学技术的各个领域。现在,这一技术的发展已进入超大规模集成电路研制的阶段,要求在每个芯片上集成1
【出 处】
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国际学术动态
【发表日期】
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1999年5期
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