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加工周期是晶圆制造系统的关键指标，对于进行准确的预测分析有助于帮助制定有效的调度排产计划。利用晶圆智能制造系统的工业大数据提取出有效信息，提出了基于工业大数据的晶圆加工周期预测方法框架；针对生产线状态会随时间推移动态变化、生产数据生命周期的问题，设计了预测模型的动态更新机制；考虑到生产线数据记录不准确的情况，比较了多种回归算法，以实例验证了所提方法的有效性。