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采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合，再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜，构成了SiO2/Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu形式的压电能量采集器悬臂梁结构。基于半导体光刻技术，通过湿法化学刻蚀和切片两种方法实现了PZT厚膜图形化问题，为基于体材PZT厚膜的高性能压电能量采集器的研制打下了良好的基础。