【摘 要】
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二氧化钛(TiO2)是响应三甲胺(TMA)气体的最佳金属氧化物半导体材料.为保持TiO2基旁热式气敏器件具有较高灵敏度、热稳定性和较低器件空气阻值(Ra),用X射线衍射和参数测试等方
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二氧化钛(TiO2)是响应三甲胺(TMA)气体的最佳金属氧化物半导体材料.为保持TiO2基旁热式气敏器件具有较高灵敏度、热稳定性和较低器件空气阻值(Ra),用X射线衍射和参数测试等方法,对TiO2基质样品进行分析,结果得出,在1050℃下退火1 h,使TiO2晶型转变为最稳定的金红石结构;N2气氛下高温处理,由于缺陷能级引入载流子数目增加,而提高了材料电导率水平.
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