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ＩＴＯ膜主要受溅射过程中溅射参数的影响，本文分析和验证真空和大气退火也改善和提高ＩＴＯ的特征，根据我们的实验条件，本文主要研究退火工艺对ＩＴＯ膜的而电阻，可见光透过率，热稳定性及晶向结构等特性的影响。
真空和大气退火对ITO膜特性的影响
【摘 要】
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ＩＴＯ膜主要受溅射过程中溅射参数的影响，本文分析和验证真空和大气退火也改善和提高ＩＴＯ的特征，根据我们的实验条件，本文主要研究退火工艺对ＩＴＯ膜的而电阻，可见光透过率，热稳定性及晶向结构等
【机 构】
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浙江大学信电系
【出 处】
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浙江大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1997年4期
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