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系统地总结了微型旋转超声电机的发展,详细地叙述了各种微型电机的驱动机理、工艺方法和性能指标,并分析了各自的优缺点.讨论了在微型旋转电机设计中应注意的一些关键问题,为下一步微型旋转超声电机以及MEMS驱动器的研究工作提供了参考依据.
微型旋转超声电机的发展和现状
【摘 要】
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系统地总结了微型旋转超声电机的发展,详细地叙述了各种微型电机的驱动机理、工艺方法和性能指标,并分析了各自的优缺点.讨论了在微型旋转电机设计中应注意的一些关键问题,为
【机 构】
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南京航空航天大学超声电机研究中心
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2005年6期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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