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道康宁与东京应用化学合作开发的新型硅晶注入式双层光阻获使用于记忆体晶片的制造/碳素石墨巨头西格里加速拓展亚洲新型材料市场
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2007年12期
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