【摘 要】
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采用NbC/Si材料组合设计多层膜Laue透镜,总膜厚为40μm,利用衍射动力学理论分析多层膜Laue透镜对硬X射线的衍射效率及聚焦分辨率.通过两种方法提高多层膜Laue透镜的分辨率.第
【基金项目】
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国家自然科学基金大科学装置联合重点项目（U1432244）
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采用NbC/Si材料组合设计多层膜Laue透镜,总膜厚为40μm,利用衍射动力学理论分析多层膜Laue透镜对硬X射线的衍射效率及聚焦分辨率.通过两种方法提高多层膜Laue透镜的分辨率.第-种方式是减小膜层的最外层宽度,该方法要求结构必须是楔型结构,制备极其困难.第二种方法是使用多层膜Laue透镜的高级次,该方法在不增加制备难题的前提下能有效提高分辨率.通过使用多层膜Laue透镜的-3级次,对10keV 硬X 射线获得了分辨率为6.72nm,衍射效率为49.31%的聚焦光斑.
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