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文章论述了超精密加工技术的内容、定义范围、对发展高新技术产品的作用、国内外发展概况及其特点、STM的微细加工和我国开发超精密加工技术的对策。
超精密加工技术的发展及其对策
【摘 要】
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文章论述了超精密加工技术的内容、定义范围、对发展高新技术产品的作用、国内外发展概况及其特点、STM的微细加工和我国开发超精密加工技术的对策。
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2004年期
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