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借助于扫描电镜和能量分散X—ray能谱分析方法，对发生在超高真空（uHV）系统内，负电子亲和势GaAs光阴极表面上的金属微颗粒污染物进行了分析研究。给出了存在于表面上微颗粒污染物的性质、类型、所占比例、构成成分、形貌、几何尺寸。介绍了寻找、排除微颗粒污染物的方法，并由成分分析结果，找到并排除了UHV系统内Mo微颗粒污染物产生的源头。发现在UHV系统内，传递杆等可移动部件的较粗糙表面具有携带、输运、抛撒微颗染污染物的功能。对UHV系统进行了全面的清洗处理，使其恢复到了原有的正常状态。