论文部分内容阅读
压电陶瓷器件在精密定位和微位移控制中得到了广泛的应用，但是它存在着迟滞、蠕变等特点，给压电陶瓷的陶瓷的控制带来了困难。该系统设计了基于信号处理及特殊算法的闭环控制系统，应用于对压电陶瓷致动器的控制，并且在此基础上建立实验系统。实验数据分析结果表明，定位精度稳定在±0．02μm，良好的解决了压电陶瓷的非线性特点，满足高精密加工技术的需求。