Analysis of SOI-MEMS Electrostatic Vibration Energy Harvester

来源 :通讯和计算机：中英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：skyboat521

【作者】

：

Muhamad Azman Miskam Othman Si

【机构】

：

CollaborativeMicroelectronicDesignExcellenceCentre

【出处】

：

通讯和计算机：中英文版

【发表日期】

：

2012年5期

【关键词】

：

振动能量 MEMS 收割机 SOI 静电电能量采集系统最大输出功率制作设备 Energy scavenging vibration to electri

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