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利用Ni催化型探测器测量原子氧密度

来源 :金属学报 | 被引量 : 2次 | 上传用户：shenghuocc

【摘要】

：

利用Ni催化探测器标定了地面模拟空间原子氧环境设备的原子氧密度.原子氧源是利用微波ECR耦合O2气放电生成氧等离子体产生的.纯Ni圆片在原子氧环境中首先暴露30rain,使其表面充分活化形成一层NiO.探测器活化后测量其在不同条件下原子氧环境中暴露时的温度变化.发现原子氧密度与气压和探测器轴向位置有关.当气压从10-3 Pa-10-2 Pa之间变化时原子氧密度在10 16-10 17/m3之间变化

【作者】

：

多树旺李美栓

【机构】

：

中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家联合实验室

【出处】

：

金属学报

【发表日期】

：

2004年08期

【关键词】

：

原子氧 NI 探测器原子氧密度 atomic oxygen (AO) nickel probe AO density

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利用Ni催化探测器标定了地面模拟空间原子氧环境设备的原子氧密度.原子氧源是利用微波ECR耦合O2气放电生成氧等离子体产生的.纯Ni圆片在原子氧环境中首先暴露30rain,使其表面充分活化形成一层NiO.探测器活化后测量其在不同条件下原子氧环境中暴露时的温度变化.发现原子氧密度与气压和探测器轴向位置有关.当气压从10-3 Pa-10-2 Pa之间变化时原子氧密度在10 16-10 17/m3之间变化.采用聚酰亚胺侵蚀法测得的原子氧密度与Ni探测器确定的基本一致.

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