【摘 要】
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一、概述在SiO_2—Si结构中,界面态和固定界面电荷及SiO_2中的陷阱电荷,严重地影响了Si平面器件的性能及稳定性。为了减少陷阱电荷对热电子的俘获,必须抑制热电子发射,并减
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一、概述在SiO_2—Si结构中,界面态和固定界面电荷及SiO_2中的陷阱电荷,严重地影响了Si平面器件的性能及稳定性。为了减少陷阱电荷对热电子的俘获,必须抑制热电子发射,并减少SiO_2中的陷阱电荷。实践证明,采用退火处理解决这个问题是行之有效的。
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