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薄膜沉积速度可调的溅射装置
薄膜沉积速度可调的溅射装置
来源 :金属功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hz198119
【摘 要】
:
日本山口大学的储桥信一教授研制成功一种可任意调整沉积膜沉积速度的溅射(成膜)装置。在薄膜之类柔软的基板上沉积涂层时为了防止损伤有必要使用两种溅射装置。而新开发的溅射
【出 处】
:
金属功能材料
【发表日期】
:
2011年3期
【关键词】
:
溅射装置
沉积速度
薄膜
可调
快速成膜
磁通分布
核心部件
沉积膜
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日本山口大学的储桥信一教授研制成功一种可任意调整沉积膜沉积速度的溅射(成膜)装置。在薄膜之类柔软的基板上沉积涂层时为了防止损伤有必要使用两种溅射装置。而新开发的溅射装置只用一台即可快速成膜。新装置通过改变其核心部件“阴极”的磁通分布,
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