【摘 要】
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利用射频磁控溅射法分别采用连续溅射和间歇溅射工艺制备了Ni_（80）Fe_（20）/Cu复合结构丝。通过扫描电镜和X射线衍射等手段研究了溅射模式对复合丝微观结构的影响.结果表明：间歇溅
【基金项目】
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基金项目：国家自然科学基金（20575022）,上海市科委基金（0652nm036,0752nm004）
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利用射频磁控溅射法分别采用连续溅射和间歇溅射工艺制备了Ni_（80）Fe_（20）/Cu复合结构丝。通过扫描电镜和X射线衍射等手段研究了溅射模式对复合丝微观结构的影响.结果表明：间歇溅射使镀层之间形成明显的界面,镀层结晶度增加,晶粒较大.利用巨磁阻抗效应和磁滞回线手段分析了样品的磁性能.发现实验中溅射的磁性层具有良好的软磁性能,复合丝呈现出较大的巨磁阻抗效应.当采用间歇溅射工艺时,由于复合丝的镀层中存在明显界面,内、外磁层的磁化行为不同,出现两个各向异性场.该样品经退火后。释放了一部分内部应力,软磁性能提
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