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提出基于脉冲超声波聚焦的反应激波刻蚀加工方法，采用大功率压电陶瓷激波发生器，在液体介质中产生聚焦脉冲超声渡（频率1MHz），由于传输过程中形成的非线性效应形成高能、瞬时压力激波，结合化学腐蚀方法，利用物理和声化学作用，使位于聚焦区域的材料迅速蚀除。采用激波、超声波和磁力搅拌3种不同方式对单晶硅进行刻蚀试验，结果表明反应激波刻蚀速率最快。在此基础上，进一步分析研究了腐蚀剂浓度、反应温度及激波功率等不同工艺参数对刻蚀速率的影响，并对反应激波刻蚀硅加工基本规律进行了探讨，为后续研究提拱了理论和试验基础。