碳纳米管冷阴极超高真空鞍场规的电场模拟与实验研究

来源 :真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nianlanzhen
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
在静电鞍场规的基础上研制了一种碳纳米管(CNT)冷阴极鞍场规(SFG)。这种冷阴极鞍场规具有电极尺寸小,吸放气率低,热效应低,功耗低的特点。本文首先计算了碳纳米管冷阴极鞍场规的电场分布,计算结果表明,二极型碳纳米管电子枪的引出栅极的正电位在低于100 V的情况下对环形阳极鞍场规的轴向电位分布影响很少;并且在现有条件下对规管参数进行了测试,实验测定的规管对空气的灵敏度是1.05 Pa-1,规管功耗由热阴极规的0.9瓦减小到7毫瓦。 A carbon nanotube cold cathode saddle (SFG) was developed based on the electrostatic field test. This cold cathode saddle field gauge has the characteristics of small electrode size, low absorption and desorption rate, low thermal effect and low power consumption. In this paper, the electric field distribution of the cold cathode saddle with carbon nanotubes is first calculated. The calculated results show that the positive potential of the withdrawn gate of the carbon nanotube electron gun is lower than 100 V, To the potential distribution has little effect; and under the existing conditions of the regulatory parameters were tested, the experimental regulation of air sensitivity is 1.05Pa-1, regulatory power consumption from 0.9 watts of hot cathode gauge reduced to 7 milliwatts.
其他文献
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
期刊
利用X射线衍射分析技术结合差示扫描量热仪,研究了Z r在Co-S i合金非晶薄膜晶化和相变过程中的作用。结果表明:溅射态非晶Co-S i薄膜和Co-S i-Z r薄膜在加热到950℃的过程中,
炎炎暑假何处去?哈哈,我并没有去繁华的大都市,也不是去游览名胜古迹,而是回到了乡村老家。虽然大家可能觉得乡村不是很好玩,但我的奇遇一定能让你大吃一惊。
近年来,由于我国建筑业的不断发展,建筑技术的不断提高,建筑者及消费者对建筑物品质的要求越来越高. 建筑物墙体的外保温技术也越来越受到人们的关注.近阶段由于新型环保节能
期刊
如果一个郑州的朋友告诉你,他刚在维也纳买了房子,你千万不要以为他移民去了奥地利.又或者漯河的朋友说他在德国小镇看上两套房子,你也不要以为他要跨国投资地产行业.他所说
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
期刊
集成电路(IC)装备工艺腔室内流场的均匀性是影响镀膜质量的关键因素。本文通过控制真空腔室入口处N_2流量(140,230,320 mL/min(标准状态))和出气口处压强值(36,45,55 Pa)来设
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
期刊