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介绍了RFCO2激光器及其对陶瓷基板划片的特点.分析了RF CO2激光陶瓷基板划片的机理;给出了整机总体设计方案.对导光系统的激光束进行了模拟,给出了导光系统的光路图及聚焦镜焦平面处的光斑尺寸及能量分布图.整机性能指标达到国外进口机的水平.
射频CO2激光陶瓷基板划片机
【摘 要】
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介绍了RFCO2激光器及其对陶瓷基板划片的特点.分析了RF CO2激光陶瓷基板划片的机理;给出了整机总体设计方案.对导光系统的激光束进行了模拟,给出了导光系统的光路图及聚焦镜
【机 构】
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武汉金石凯激光技术有限公司,华中科技大学激光工程研究院
【出 处】
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应用激光
【发表日期】
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2004年期
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