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<正> 据《新德意志报》1988年4月5日报道,耶拿蔡司联合企业计划于1988年秋季开始批量生产一种最新型号的电子束曝光机ZBA21W。这是蔡司公司的最新成果。这项设备可用于生产4兆位超大规模集成
新型电子束曝光机
【摘 要】
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<正> 据《新德意志报》1988年4月5日报道,耶拿蔡司联合企业计划于1988年秋季开始批量生产一种最新型号的电子束曝光机ZBA21W。这是蔡司公司的最新成果。这项设备可用于生产4
【出 处】
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全球科技经济瞭望
【发表日期】
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1988年6期
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