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本文研究了热解CVD法合成金刚石多晶的结晶习性,在结晶过程中金刚石的(111)、(100)和(110)三个晶面经过激烈竞争后均有显露,通常情况下(111)和(100)二个晶面发育得较完整,相继显露的几率也最大。
热解CVD法合成金刚石多晶的结晶习性
【摘 要】
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本文研究了热解CVD法合成金刚石多晶的结晶习性,在结晶过程中金刚石的(111)、(100)和(110)三个晶面经过激烈竞争后均有显露,通常情况下(111)和(100)二个晶面发育得较完整,相
【机 构】
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上海交通大学,上海交通大学
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1990年2期
【基金项目】
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国家高科技和上海市自然科学基金
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