【摘 要】
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采用磁控溅射的方法在蓝宝石衬底上制备了氧化铟锡（ITO）透明氧化物薄膜;研究了不同厚度薄膜的结构、光学和电学特性。经X射线衍射（XRD）测量,发现在蓝宝石衬底上生长的ITO薄膜呈现
【基金项目】
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吉林省科技厅青年科研基金(20080170)资助项目
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采用磁控溅射的方法在蓝宝石衬底上制备了氧化铟锡（ITO）透明氧化物薄膜;研究了不同厚度薄膜的结构、光学和电学特性。经X射线衍射（XRD）测量,发现在蓝宝石衬底上生长的ITO薄膜呈现了较高的（222）择优取向;随着膜层厚度的增加,该衍射峰对应的2θ衍射角逐渐向大角度方向移动,同时该衍射峰的半峰全宽逐渐减小,平均晶粒尺寸增大。经光学透射光谱测量,发现随着膜层厚度的增加,光学透过率逐渐减小。膜层厚度为0.2μm时,可见光透过率超过80%,当膜层厚度为0.8μm时,可见光透过率下降到60%。电学测量结果表明,随着
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