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以三元合金NiFeNb作新种子层,采用直流磁控多靶设备制备了具有不同Nb含量(x)、NiFeNb厚度(t)和坡英合金厚度(d)的纳米级(Ni82Fe18)1-xNbx(tnm)/Ni82Fe18(d nm)/Ta(3 nm)坡莫合金系列膜.测量了样品的各向异性磁电阻和微结构.从实验角度详细研究了AMR随x,t,d和退火等工艺条件的变化.结果表明:①作为x或t的函数,AMR在x=23.8%或x=2.75 nm处分别最大;②NiFeNb作为种子层在提高坡莫合金薄膜各向异性磁电阻方面优于Ta;③在通过中高温退火