MNOS存贮管存贮栅的工艺控制技术

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介绍一种军用专用集成电路的核心器件--MNOS管。存贮栅是该存贮管的制作关键,存贮栅由薄二氧化硅层和氧化硅复合膜组成。着重论述了复合膜中较难制作的薄二氧化硅即薄栅(2.15±0.15nm)的工艺控制。
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