【摘 要】
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全氟丁二烯(六氟丁二烯,六氟-1,3-丁二烯,C4 F6,HFBD)是一种性能优异的新一代电子工业用蚀刻气,应用前景广阔.HFBD的合成工艺多样,基本上都是采用偶联法、脱卤法和格氏试剂法.原料中含有的主要杂质除氮气(N2)、氧气(O2)等不凝性气体能用精馏法轻松脱除外,其它的杂质均可以用吸附法脱除.通过使用沸石类分子筛、活性氧化铝、碳分子筛、硅铝酸盐分子筛、碱盐等进行吸附实验,能将HFBD产品中的氟化氢(HF)、水分(H2 O)、含有丁二烯的氟氯化物、丁烯的二聚体、少量的醇及醚等杂质均脱除到符合电子特气出
【机 构】
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广东华特气体股份有限公司,广东 佛山528241
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全氟丁二烯(六氟丁二烯,六氟-1,3-丁二烯,C4 F6,HFBD)是一种性能优异的新一代电子工业用蚀刻气,应用前景广阔.HFBD的合成工艺多样,基本上都是采用偶联法、脱卤法和格氏试剂法.原料中含有的主要杂质除氮气(N2)、氧气(O2)等不凝性气体能用精馏法轻松脱除外,其它的杂质均可以用吸附法脱除.通过使用沸石类分子筛、活性氧化铝、碳分子筛、硅铝酸盐分子筛、碱盐等进行吸附实验,能将HFBD产品中的氟化氢(HF)、水分(H2 O)、含有丁二烯的氟氯化物、丁烯的二聚体、少量的醇及醚等杂质均脱除到符合电子特气出货标准.实验结果表明,大部分吸附剂会引发不同程度的歧化反应,精制难度较大,故选用碱盐分子筛脱除HF,硅铝酸盐分子筛脱除醚,5 A分子筛脱除其余杂质.
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